國內(nèi)某半導(dǎo)體企業(yè) 晶圓盒搬運(yùn)及上下料
該項(xiàng)目物料為晶圓放置在晶圓盒中,AMR需按照工藝流程配送至各個(gè)機(jī)臺(tái)加工;需要關(guān)聯(lián)客戶MES系統(tǒng),物料配送請求通過MES發(fā)送,呼叫AMR將晶圓盒搬運(yùn)至對應(yīng)機(jī)臺(tái);為了緩解加工瓶頸,規(guī)劃立體料架將加工物料進(jìn)行儲(chǔ)存及庫位管理,實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)智能配送。
面臨挑戰(zhàn)
1. 無塵車間,車間機(jī)臺(tái)多,需要實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)配送,對配送錯(cuò)誤0容忍;
2. 車間有較多懸空凸出物體,需要避免碰撞;
3. 晶圓易碎,搬運(yùn)過程需要減震處理。
解決方案
使用Oasis600UL復(fù)合機(jī)器人,由FMS調(diào)度系統(tǒng)系統(tǒng)連接工廠的MES和WMS系統(tǒng), 自動(dòng)將物料送到對應(yīng)的需料機(jī)臺(tái)
硬件:2臺(tái)Oasis600UL復(fù)合機(jī)器人、8臺(tái)Oasis600UL+定制智能料架、1臺(tái)服務(wù)器、1套網(wǎng)絡(luò)方案;
軟件:Matrix部署軟件、FMS調(diào)度管理系統(tǒng)、中控系統(tǒng)。